Отправить заявку

TURBOVAC MAG Турбомолекулярные вакуумные насосы на магнитном подвесе

Турбомолекулярные вакуумные насосы марки TURBOVAC серии MAG

Параметр	W300P	W400P	W600P	W700P	W1500	W2200	W2800	W3200
Высоковакумный патрубок	100 ISO-K 100 CF	160 ISO-K 160 CF	160 ISO-K 160 CF	200 ISO-K 200 CF	250 ISO-K 200 CF	250 ISO-K 250 CF	250 ISO-K 250 CF	320 ISO-K
Форвакумный патрубок	16 ISO-KF	16 ISO-KF	25 ISO-KF	25 ISO-KF	40 ISO-KF	40 ISO-KF	40 ISO-KF	40 ISO-KF
Скорость откачки по азоту, л/с	300	365	550	590	1220	2000	2650	3200
Предельное остаточное давление ISO-K/CF, мбар	1·10-8 / 1·10-10
Макс. форвакуумное давление, мбар	8,0	8,0	6,0	6,0	2,6	2,0	2,0	2,0
Масса, кг	12,0	12,0	17,0	17,0	32,0	28,0	64,0	65,0
Размеры, мм Д х Ш х В	155 х 155 х 250	180 х 180 х 250	204 х 204 х 281,5	240 х 204 х 280,5	285 х 285 х 307	317 х 317 х 371	307 х 307 х 391	425 х 425 х 316

Вакуумные турбомолекулярные насосы на магнитном подшипнике производятся серийно компанией Leybold GmbH (Германия) с 1975. Проблема ранних турбомолекулярных насосов того времени ненадежность и возможность эксплуатации только в неагрессивных применениях. Именно в 80-е годы различными отраслями промышленности было поставлен ряд сложных задач:

- бесмаслянный высокий вакуум;
- высокий вакуум с одновременным присутствие агрессивных газов (коррозионно-активных, опасных для человека)
- циклическая работа высоковакуумного насоса

Одним словом, появилось большое количество перспективным применений, в которых применение классических высоковакуумных турбомолекулярных насосов было невозможным. Благадаря такой вынужденной потребности и произошел скачек в выпуске серийных турбомолекулярных насосов на магнином подвесе TURBOVAC MAG.

Первые TURBOVAC MAG имели небольшую производительность - 300 - 360 л/с, и основным применением стала реализация процессов испарения газовай фазы на подложки (напыление - ECVD PECVD PVD) с примененим вредных коррозионно-активных веществ.

Турбомолекулярные вакууные насосы TURBOVAC MAG для агрессивных процессов

Далее Leybold GmbH (Германия) начинает выпускать на рынок модели MAG 830 и 1300. Появляются также версии со специальным покрытием ротора и проточной части (для исключения реакции с откачиваемой средой) - версии C, а также модели со стабилизацией температуры внутри вакуумного насоса для исключения конденсации откачиваемых веществ - версии T.

Принцип работы действия турбомолекулярного насоса TURBOVAC

Во внутреннем пространстве корпуса установлена турбина с лопатками. Вследствие того, что скорости лопаток ротора и молекул газа полностью соизмеримы, образуется разница вероятностей движения газовых частиц по направлению от одного насоса к другому (частицы проходят сквозь насос, но обратно не возвращаются). Процесс откачивания газа в рассматриваемом насосном устройстве находится в состоянии зависимости от прямого потока газовых молекул, который движется от всасывающего фланца к форвакуумному порту.

Серия TURBOVAC MAG C и CT

Данная серия характеризуется наличием полноценного 5-ти осевого магнитного подшипника (но имееют опорный механический подшипник - для работы в аварийныхз ситуациях). все насосы серии MAG питаются от отдельного преобразователя частоты - это несомненно преимущество, т.к. срок службы электроники меньше срока службы насоса, также возможно разместить блок электроники на большом удалении от насоса - это нужно в применениях с особыми внешними условия вокруг насоса.

Серия TURBOVAC MAG

Функционирование насосов данной серии, оснащенных подвесом ротора магнитного типа, в паре с технически совместимыми форвакуумными насосами позволяет эксплуатировать ТМН в диапазоне давлений 10-1 мбар - 10-10 мбар. Показатель скорости откачивания по воздуху составляет 300 л/с - 3200л/с. Насосное оборудование линейки TURBOVAC MAG широко используется для создания проводников (то есть в тех процессах, где требуется откачивание сред, способных вызвать коррозию), а также в электронно-лучевых микроскопах.

Преимущества насосных устройств TURBOVAC MAG:

- абсолютно безмаслянное средство откачки вакуум;
- монтаж в любой ориентации;
- высокий срок службы основных узлов;
- небольшая вибрация;
- полностью адаптирован по откачку агрессивных сред;
- отсутствие обслуживание подшипникового узла;
- проверенная многолетные эксплуатацией концепция.

Наши контакты:

Тел.: 8 (985) 112-38-76

Почта: info@klapan-filter.ru

Почему вы можете нам доверять!

1. Мы подберем нужный вам товар.
2. Постоянное наличие фильтров на складе.
3. Оперативная и компетентная помощь нашим клиентам.
4. Работаем по безналу.
5. Доставка по России.

Отправить заявку